无尘车间等级

摘要:无尘车间等级划分 半导体工业是极精密的工业，当我们把计算机拆开之后，在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些极小的晶体管妥善的工作，制造的过程必须在半导体工

半导体工业是极精密的工业，当我们把计算机拆开之后，在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些极小的晶体管妥善的工作，制造的过程必须在半导体工业是极精密的工业，当我们把计算机拆开之后，在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些极小的晶体管妥善的工作，制造的过程必须在无尘车间内进行，集成电路制造的工厂动辄需要数十亿、数百亿的投资，多因为需要一个无尘车间。

所谓的无尘车间是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路技术的快速成长，也增加了对制造环境(无尘车间)洁静度的需求，在工业上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。 由于奈米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断的增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘车间为集成电路制造不可或缺的要素。

依据美国联邦政府颁布的标准，可将东莞无尘车间分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘车间的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5µm，例如，1级、10级、100级东莞无尘车间尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0.5µm，无尘车间等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2µm(尘粒尺寸在0.2µm或更大下，密度不大于75颗/立方英?)，1级在0.1µm(尘粒尺寸在0.1µm或更大下，密度不大于35颗/立方英?)。而集成电路制造所需的无尘车间之洁净度必须优于1000级。

为保持无尘车间的洁净度，进出的人员有一定的穿著规定；10000与100000级，必须穿著长袍无尘衣、无尘鞋、带帽子与面罩；1000级(含)以上，需穿著特殊的洁净连身衣、无尘鞋将全身裹住，并带上手套和面罩，下表为无尘车间清洁度的定义：

尘粒数／立方英

级数0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.4μm 0.5μm

1 35 7.5 3 1 N/A

10 350 75 30 10 N/A

100 N/A 750 300 100 N/A

1000 N/A N/A N/A 1000 7

10000 N/A N/A N/A 10000 70

100000 N/A N/A N/A 100000 700